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本文標(biāo)題:"微機(jī)電系統(tǒng)制程制作微面鏡光學(xué)元件- 光學(xué)顯微鏡廠家"

發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------ 人瀏覽過(guò)-----時(shí)間:2013-3-27 17:3:12

微面鏡之設(shè)計(jì)與制作及其反射特性之分析

 
 
體型微細(xì)加工方式設(shè)計(jì)出微鏡面,并利用微機(jī)電系統(tǒng)制程技術(shù)制作微面鏡光學(xué)元件。
 
利用8、10、12支懸臂樑,在懸臂樑上鍍金或白金當(dāng)作反射之微面鏡元件,
運(yùn)用兩種不同材料之膨脹系數(shù)不同與殘留應(yīng)力,使懸臂樑造成向上翹曲,形成一微面鏡結(jié)構(gòu)。
 
模擬分析與實(shí)作量測(cè)兩部份,
 
光學(xué)分析及光度分析的設(shè)計(jì)軟體,模擬懸臂樑翹曲之角度,
利用氦氖離子紅色雷射與氬離子綠色雷射兩光源,照射至微面鏡元件上,
 
量測(cè)其因反射所造成之光能量損失。在實(shí)作量測(cè)方面,利用兩光源照射至微鏡面元件上,
 
利用光能量?jī)x器量測(cè)經(jīng)反射所造成之光能量損失。
 
此研究為本實(shí)驗(yàn)室新開(kāi)發(fā)之研究產(chǎn)品,在應(yīng)用方面廣泛,可當(dāng)作任何需要反射之元件,使機(jī)器微小化而不佔(zhàn)空間。
 
關(guān)鍵字:微面鏡、微機(jī)電系統(tǒng)、APILUX
 

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